基于LTCC為基礎的多層結構設計可有效減小器件體積，是實現元器件向小型化、集成化、高可靠性和低成本發(fā)展的重要途徑。LTCC基板的制備核心技術是高質量基片的坯體成型，目前的成型方法主要有流延、干壓、軋膜等，其中流延法生產效率高，自動化水平高，成型坯體性能的重復性和尺寸的一致性水平高，是理想的LTCC基板的成型技術。

一、LTCC基片流延成型工藝流程

二、LTCC基片的流延漿料的制備

1、流延漿料的制備要求

流延漿料是個比較復雜的系統(tǒng)，漿料一般由粉料、溶劑、分散劑、粘結劑、增塑劑和功能助劑組成。一種合適的流延漿料必須滿足以下幾個條件：

（1）干燥過程中沒有缺陷（如裂紋等）；

（2）流延片干燥后要有一定的強度，如可切割、鉆孔等；

（3）流延片要有非常均勻的微觀結構和光滑平整的表面；

（4）流延片中的有機物可以通過熱分解后完全排除；

（5）流延片要有好的疊層性能，可用于疊層工藝；

（6）流延片要有非常好的燒結性能等。

2、流延漿料的影響因素

粉體的選擇必須考慮到以下技術參數：

在溶劑的選擇上首先要考慮如下幾個因素：

（1）必須能夠溶解分散劑、粘結劑、增塑劑和其他添加劑成份；

（2）在漿料中具有一定的化學穩(wěn)定性，能夠充分分散粉料而不與粉料發(fā)生反應；

（3）能夠提供漿料系統(tǒng)合適的粘度；

（4）易于揮發(fā)與燒除；

（5）保證素坯無缺陷的固化；

（6）使用安全衛(wèi)生和對環(huán)境污染少且價格便宜。

選擇粘結劑應考慮的因素有：

（1）素胚膜的厚度；

（2）所選溶劑類型及匹配性，有利于溶劑揮發(fā)和不產生氣泡；

（3）應易燒除，不留有殘余物；

（4）能起到穩(wěn)定料漿和抑制顆粒沉降的作用；

（5）要有較低的塑性轉變溫度，以確保在室溫下不發(fā)生凝結；

（6）考慮所用基板材料的性質，要不相粘結和易于分離。

陶瓷生帶用增塑劑需要的性能為：

（1）與樹脂粘結劑具有良好的相容性；

（2）高的沸點和低的蒸汽壓；

（3）高的可塑效率；

（4）熱、光、化學的穩(wěn)定；

（5）低溫下良好的彎曲性；

三、LTCC基片流延工藝的控制

1、生瓷帶厚度控制

2、干燥工藝優(yōu)化

3、脫脂工藝優(yōu)化

脫脂是通過加熱時有機添加劑產生分解，分解產物擴散至表面揮發(fā)，再從表面揮發(fā)，整個過程一般在高溫度發(fā)生。因此，環(huán)境氣氛是重要因素。陶瓷粉體的特點決定了氧化或還原氣氛的選擇 ：

• 氧化物陶瓷基片：氧氣氛圍，但必須采取一些預防措施以避免難以控制 的放熱反應或甚至是有機排出物的燃燒。尤其對于大的不均勻的組分如多層片 ，這將導致局部應力并使部件氧化。氧氣的含量必須限制在足夠低的濃度范圍內以防止加熱連鎖反應和有時不得不采用還原條件。
• 非氧化物陶瓷基片：非氧化氛圍，但是必須避免由于粘結劑分解而產生殘余碳 。